Spectre de fluorescence de L'arsenic dans du silicium
Comparaison mesures X et RBS (Rutherford backscatering) et spectre de fluorescence X
Sur la courbe comparative nous voyons que les croix (mesures X) suivent le même profil que la courbe (résultat RBS), seul un étalonage permettrait un ajustement des valeurs absolues.
Sur le spectre X nous voyons, que bien qu'en très faible dose (dopant dans le silicium) le rapport signal/bruit de la raie ka de l'arsenic est très bon.